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建党101周年献礼:东方晶源良率管理再添两款产品利器

立足集成电路制造良率管理,东方晶源产品矩阵再添两款新产品——电子束缺陷复检设备SEpA-r600及良率管理系统YieldBook。值此建党节之际正式发布,为建党101周年献礼!


 DR-SEM工程机开发完成,加速布局电子束检测领域 

电子束缺陷复检设备(Defect Review SEM,简称DR-SEM)是一款基于超高分辨率电子束成像技术对集成电路制造过程中的缺陷进行复检的设备。DR-SEM的核心应用是根据缺陷检测设备(通常是光学检测或者电子束检测)提供的坐标,对缺陷进行复检分析,包括采集高分辨率电子束图像分析形貌、收集能谱信息分析成分等,对集成电路制造良率提升具有重要意义。东方晶源充分发挥在电子束检测领域的技术积累,快速完成DR-SEM工程机开发工作,正在积极推进产业化进程。


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SEpA-r600工程机及SEM图像

SEpA-r600是东方晶源第一代DR-SEM产品,设计目标是“看得清、找得准、自动化”。目前工程机(Alpha机)已经通过首轮wafer demo,图像质量达到国际主流设备第6代水平,实现了“看得清”;高精度工件台与自研的坐标转换算法完美搭配,可以将高端光学检测设备报告的缺陷位置校准到±1μm误差范围内,在“找得准”指标上达到国际先进水平;Search Mode和Direct Mode流程均已打通,在缺陷复检上实现“自动化”。产品开发团队兼具电子束检测/复检经验与高端光学检测设备的应用经验,复合型知识体系令团队对DR-SEM有更深刻的理解,开发出的产品会更贴近客户需求。目前,SEpA-r600产品可以满足>=28nm制程需求,Beta机集成工作加速推进中,已拿到客户订单,进入产线验证指日可待。

电子束检测、量测设备是集成电路制造良率管理领域重要的点工具,特别是在先进制程中具有重要的作用和价值,但此类产品的主流供应商均为国际巨头。东方晶源历时八年,成功推出了电子束缺陷检测设备(EBI)、12吋和8吋关键尺寸量测设备(CD-SEM)三款设备,打破国际垄断,填补国内空白。随着DR-SEM研发工作的推进,将进一步丰富东方晶源电子束检测、量测产品矩阵,夯实国内电子束检测、量测领导者地位。


 YieldBook V1.0良率管理软件打通数据互联 

良率管理系统(Yield Management System,简称YMS),是一种在集成电路制造领域用来对良率相关数据进行整合和分析的工业软件产品。如果说检测设备是一个个点工具,那么YMS就是一条线,把许多的点工具连接起来,形成良率管理系统。目前此类产品的主流供应商均为国外企业。

东方晶源YieldBook依托于公司对于EBI/CD-SEM/DR-SEM等硬件点工具以及OPC等上游设计工具的业务积累,致力于打造一款整合 YMS/DMS/WIP/CP/D2DB等模块、更加全面的良率管理软件产品。研发之初,东方晶源研发团队深入倾听客户需求,以减少客户学习成本、改良客户痛点问题、开发特色应用为研发目标。经过数月的奋战,目前YieldBook V1.0版本已经上线。YieldBook采用新型高效的架构技术、分布式数据库、模块化的前端界面,在易用性、功能性、独特性等方面独树一帜。


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YieldBook运行界面

东方晶源YieldBook的发布,将放大旗下电子束缺陷检测设备(EBI)、12吋和8吋关键尺寸量测设备(CD-SEM)、电子束缺陷复检设备(DR-SEM)等产品的市场影响力。同时,有效打通集成电路制造上下游数据分析环节,为集成电路制造厂商提供系统化的良率解决方案,对促进我国集成电路产业链稳定和发展具有重要意义。


东方晶源自成立以来,专注于芯片制造关键环节的良率控制和提升领域,经过八年技术攻关积累了深厚的技术实力。近两年在组织升级、资本加持、客户支持下,发展突飞猛进,技术领域频频取得新突破,新产品的推出也更加密集。未来,东方晶源将继续立足一体化软件平台和检测装备两大领域,推出更多贴近客户需求、填补国内空白的产品,推动我国集成电路制造产业持续高速发展。

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